クリーンルームフィルター

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クリーンルーム用エアフィルター

空気ろ過システムは、クリーンルームの最も重要なコンポーネントです。 フィルターは、空気中の微粒子をサブミクロン サイズまで除去するように設計されています。 標準の高効率微粒子空気 (HEPA) フィルターは、0.3% の効率で空気を 99.975 ミクロンまで洗浄します。

層流と連携して、複数のフィルターがクリーンルームの基準を満たすために必要な量の粒子を取り除きます。 層流、または一方向の気流は、空気が一方向のみに流れるようにする方法であり、粒子が蹴られてクリーンルームに着陸する可能性を減らします。 ほとんどのクリーンルームでは、空気が部屋の上部から下部に送られ、汚染粒子が確実に押し出され、想定されていない場所に着陸する時間がありません。 層流は、粒子を除去するフィルターを通して空気を押し出します。 空気がフィルターを通過すると、フィルター内にランダムに配置された小さな繊維に粒子が付着し、クリーンルームに入る空気から除去されます。

パネルフィルター

プリーツフィルター

ポケットフィルター

カーボンフィルター

セパレーターフィルター

ミニプリーツフィルター

PTFEミニプリーツフィルター

Vバンクフィルター

フード付きHEPAフィルター

高温フィルター

静電フィルター

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